[19p-PB4-1~8] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[19p-PB4-1] Naフラックスを用いたSiC溶液成長における溶液構造の解析

〇村田 拓郎¹、河村 貴宏¹ (1.三重大工)

キーワード：SiC、Naフラックス、第一原理計算

溶液成長法は転位の少ない高品質なSiC結晶成長法として期待されている．各種溶媒が用いられているが，ナトリウムを使用すると低温での結晶成長が可能であると報告されている．Naフラックスを用いたSiC溶液成長の実現性について検討するため，本研究では第一原理計算を用いてC原子を含んだSi-Na溶液のシミュレーションを行い，C原子の結合状態を調べた．