PDF ダウンロード スケジュール 22 いいね! 0 コメント (0) 16:00 〜 18:00 [19p-PB8-32] 塗布型high-k 絶縁膜の自己組織化分子による表面処理 〇栗原 一徳1、古志 知也1、武居 淳1、野村 健一1、植村 聖1、吉田 学1 (1.産総研) キーワード:誘電体、表面処理、溶液プロセス