[20a-B11-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20a-B11-5] エバネッセント波レーザー誘起蛍光法による大気圧プラズマと相互作用する石英表面近傍におけるOHラジカルの検出

〇菱田 悠斗¹、佐々木 浩一¹ (1.北大工)

キーワード：大気圧プラズマ、レーザー誘起蛍光法、OHラジカル

エバネッセント波は，レーザー光などが屈折率 の高い媒質から低い媒質に向かって伝搬し，界面で 全反射するとき，波長のオーダー(数 100 nm)の厚さ で低屈折率側の媒質に染み出す現象であり，これに よって生じるレーザー誘起蛍光を受信することがで きれば，表面直近領域におけるラジカル密度を測定 することができる。本研究では，大気圧プラズマと相 互作用する石英表面直近領域の OH をエバネッセン ト波レーザー誘起蛍光法で検出する実験を行い，こ の測定法における雑音源や得られる S/N 比を評価す ることを目的とした。