[20a-B31-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [20a-B31-8] センサ応用を目指した酸化物薄膜トランジスタの信頼性評価

〇橋間 裕貴¹、髙橋 崇典¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：非晶質酸化物半導体、化学センサ

延長ゲート型構造を有するTFTはこれまでにセンサへの応用を目指した開発が行われている。本研究では実社会への応用を考え、高い信頼性を有する非晶質酸化物半導体材料（AOS）に注目した。AOSは移動度が容易に10 cm²/Vs 以上得られる為、デバイスの高集積化によるセンサアレイへの応用が容易である。本研究では延長ゲート上の電荷状態変化によるAOS-TFTの信頼性を評価しセンサ応用への適応を試みる。