[20a-C212-1~4] 酸化物中の水素とその役割

[20a-C212-1] 酸化物中の水素の電荷補償への寄与とその安定性

〇大橋 直樹¹、大澤 健男¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：酸化物、電荷補償、水素

近年、酸化物中の水素不純物の存在が強く考慮されるようになった。かつて、酸化物半導体の導電性は、一般に、合成環境によって変化する非化学量論性によって記述されていた。しかし、酸化物の物理的性質は、意図せずに混合された水素不純物も考慮することによって、より合理的に説明され得ることがわかってきた。ここでは、単結晶を用いた実験結果を中心に、典型的な酸化物半導体中の水素不純物の挙動について概説する。