[20a-C212-1~4] 酸化物中の水素とその役割

[20a-C212-2] アモルファス酸化物半導体中の水素: 薄膜成長とデバイス特性への影響

〇神谷 利夫^1,2、細野 秀雄² (1.東工大フロ研、2.東工大元素セ)

キーワード：水素、アモルファス酸化物半導体、不安定性

水素は、意図的に導入していないにもかかわらず、実際の試料には多少なりとも混入し、大きな影響を与える。本講演では、a-In-Ga-Zn-Oを代表とするアモルファス酸化物半導体中の水素について、a-Si, 結晶酸化物半導体、他の無機半導体中の水素との比較も含め、水素の役割とふるまいについて総合的な報告をする。