[20a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [20a-C309-7] ZnO /LiNbO₃構造の電気特性の極性及び温度依存性

〇安原 雄大^1,2、栗島 一徳^1,2,3、知京 豊裕²、小椋 厚志¹、長田 貴弘² (1.明大院理工、2.物質材料研究機構、3.学振PD)

キーワード：強誘電体、焦電効果

極性結晶であるニオブ酸リチウム（LiNbO₃：LN）は優れた焦電性を有し、他の強誘電体に比べ表面電荷が得られやすい特性を持つ酸化物強誘電体である。さらに、極性により異なる表面電荷効果を示すことが知られている。そこで我々は、LNの分極面のパタ ーン化などで自発分極を制御することで表面電荷を制御できる特徴を利用し、酸化亜鉛(ZnO)の電気特性の制御を試み、光センサーやスイッチへの応用を検討している。ZnOはバン ドギャップが3.4 eVと広く、飽和電子速度が大きいため、高速電子デバイス、センサーへの応用研究がされている。本研究では、＋極及びー極のLN基板 ZnOを成膜した試料を用いて、LNの焦電効果や極性がZnOの電気特性に及ぼす影響について検討した。