[20a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[20a-C310-1] 複合成膜により成膜された超低屈折率SiO₂ 光学薄膜の応力特性2

〇吉澤 慶¹、呂 翔宇¹、室谷 裕志¹ (1.東海大院工)

キーワード：複合成膜、SiO₂、内部応力