[20a-C310-1~12] 6.4 Thin films and New materials

△ [20a-C310-8] Environmental durability of aluminum deposited silver thin film under high temperature and high humidity

〇Yuya Sasaki¹, Midori Kawamura¹, Takayuki Kiba¹, Yoshio Abe¹, Kyung Ho Kim¹, Mai Hayamizu², Hiroshi Murotani² (1.Kitami Institute of Tech., 2.Tokai Univ.)

Keywords:Silver thin film, Aluminum, Environmental test

銀は高反射率や低抵抗率などの物性を有し、各種電子デバイスへの応用が有望であるが、耐久性に難がある。本研究では、膜厚150 nmのAgに、Alを1 nm 積層させた試料を55 ℃, 90 %RHの環境下で16時間保持し、耐久性を調査した。環境試験を行った結果、銀単層膜では多数の凝集体が生成し、鏡面反射率が低下したが、アルミを積層することにより、凝集体の生成や鏡面反射率の低下を抑制できることが判明した。