[20a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

△ [20a-C310-8] 高温高湿下でのアルミ積層銀薄膜の環境耐久性

〇佐々木 祐弥¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹、金 敬鎬¹、速水 舞²、室谷 裕志² (1.北見工大、2.東海大工)

キーワード：銀薄膜、アルミ、環境試験

銀は高反射率や低抵抗率などの物性を有し、各種電子デバイスへの応用が有望であるが、耐久性に難がある。本研究では、膜厚150 nmのAgに、Alを1 nm 積層させた試料を55 ℃, 90 %RHの環境下で16時間保持し、耐久性を調査した。環境試験を行った結果、銀単層膜では多数の凝集体が生成し、鏡面反射率が低下したが、アルミを積層することにより、凝集体の生成や鏡面反射率の低下を抑制できることが判明した。