[20a-E202-1~10] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[20a-E202-3] Surface morphology of pentacene film on Si substrate characterized by in-situ grazing-incidence small angle X-ray scattering (IV)

〇Ichiro Hirosawa¹, Takeshi Watanabe¹, Tomoyuki Koganezawa¹, Mamoru Kikuchi², Noriyuki Yoshimoto² (1.JASRI, 2.Iwate Univ.)

Keywords:organic thin film, crystal growth, surface morphology

Si基板上に成膜中のペンタセン薄膜の表面形態を微小角入射X線小角散乱（GISAXS)で評価する手法を開発した。GISAXSの試料面法線方向のプロファイルに注目することにより、通常のX線反射率測定では測定できない凹凸が激しい膜でも平均膜厚を推定することが可能になった。さらに、平均膜厚が約20 nmを超えると、表面形態の特徴はほぼ一定になることがわかった。