09:30 〜 09:45 [20a-E202-3] GISAXSによるペンタセン成膜中の表面形態評価(IV) 〇広沢 一郎1、渡辺 剛1、小金澤 智之1、菊池 護2、吉本 則之2 (1.JASRI、2.岩手大理工)