[20a-E203-1~12] 7.5 イオンビーム一般

[20a-E203-5] 集束イオンビーム装置を用いたToF-RBSとERDAの同時計測法の開発

〇阿保 智¹、藤元 拓哉¹、若家 冨士男¹ (1.阪大基礎工)

キーワード：非破壊分析、ラザフォード後方散乱法、弾性反跳粒子検出法