[20a-E203-1~12] 7.5 Ion beams

[20a-E203-9] Generation of Massive Cluster Ions with Electrospray Ion Source

〇Taiki Matsuda¹, Toshio Seki¹, Takaaki Aoki², Jiro Matsuo¹ (1.Grad. Sch. of Eng., Kyoto Univ., 2.ACCMS, Kyoto Univ.)

Keywords:SIMS, ESI

SIMSにおいて高分子のイオン化効率を向上させるためには、大質量の分子を断片化せず全体をエッチング可能な高エネルギーのイオンビームが必要だと考えられる。クラスターイオンビームのサイズを大きくすることで、一原子あたりのエネルギーを変えずに全体のエネルギーを増やすことが可能となる。本研究では、ESIを用いて巨大なクラスターを生成、加速する実験を行った。