[20a-E205-1~12] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

△ [20a-E205-10] Measurement of dynamic phenomena with dual-comb spectroscopic polarimetry

〇Hidenori Koresawa^1,2,3, Kyuki Shibuya^1,3, Takeo Minamikawa^1,2,3, Takeshi Yasui^1,2,3 (1.Grad. Sch. Tokushima Univ., 2.pLED, Tokushima Univ., 3.JST-ERATO Minoshima IOS)

Keywords:optical frequency comb, dual comb spectroscopy, spectroscopic polarimetry

我々のグループではデュアルコム分光法(DCS)と分光エリプソメトリーを融合したデュアルコム分光エリプソメトリーを開発し, 静的なSiO2薄膜サンプルを測定することでその優位性を示している. 工業分野では成膜過程の管理などのin process用途での需要もある. そこでDCSの高速性に着目し, 動的現象観測への応用を検討した.