[20a-E205-1~12] 3.8 光計測技術・機器

△ [20a-E205-10] 高速デュアルコム偏光分光法を用いた動的現象の計測

〇是澤 秀紀^1,2,3、澁谷 九輝^1,3、南川 丈夫^1,2,3、安井 武史^1,2,3 (1.徳島大院、2.徳島大・ポストLEDフォトニクス研究所、3.JST-ERATO美濃島知的光シンセサイザ)

キーワード：光周波数コム、デュアルコム分光法、分光偏光計測

我々のグループではデュアルコム分光法(DCS)と分光エリプソメトリーを融合したデュアルコム分光エリプソメトリーを開発し, 静的なSiO2薄膜サンプルを測定することでその優位性を示している. 工業分野では成膜過程の管理などのin process用途での需要もある. そこでDCSの高速性に着目し, 動的現象観測への応用を検討した.