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[20a-E205-6] レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)を用いたホウ化ジルコニウムの表面硬度測定への適用検討(1)測定条件の予備検討
キーワード:レーザー誘起ブレークダウン分光法、ホウ化ジルコニウム、ビッカース硬度
レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)による元素定量分析は、その場計測手法として多くの分野・測定対象への適用が検討されている。本報では、金属ホウ化物のうち融点温度まで相転移がないジルコニウム系ホウ化物に着目し、ZrとZrBからなる複合材料(ZrBx)を測定対象として、LIBSによる元素情報(組成比)に加えビッカース硬度(VH)情報の測定手法としての適用検討結果を報告する。