[20a-E207-1~11] 【CS.5】 3.11 フォトニック構造・現象と3.13 半導体光デバイスのコードシェアセッション

[20a-E207-1] 980nm帯ヒータ駆動型の面発光レーザ集積ビームスキャナ

〇志村 京亮¹、鷹箸 雅司¹、許 在旭¹、顧 暁冬¹、坂口 孝浩¹、松谷 晃宏²、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研、2.東工大技術部マイクロプロセス部門)

キーワード：面発光レーザ、LiDAR

本研究では一方向性結合を可能にする面発光レーザ(VCSEL)集積非機械式のビームスキャナを提案する．我々はこれまでに光源と導波路型ビームスキャナを集積化したデバイスを提案し，13度の角度掃引幅と30点以上の解像点数を実現している．一方で出力が非常に低く，解像点数もさらなる向上が必要であるなどの課題が残った．今回は光源であるVCSELの波長可変方式を従来の電流駆動からヒータ駆動にした新たなデバイスを試作し測定を行った．