[20a-E208-1~11] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[20a-E208-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 高速走査型近接場光学顕微鏡の開発

〇馬越 貴之¹、福田 真悟²、内橋 貴之³、バルマ プラブハット¹、安藤 敏夫² (1.阪大院工、2.金沢大WPI-NanoLSI、3.名大院理)

キーワード：近接場光学顕微鏡、高速原子間力顕微鏡、プラズモニクス

ナノ空間分解能での光学イメージングが可能な近接場光学顕微鏡の高速化は、動的な生体試料の観察や、先端材料の大面積観察など、当該技術の新たな展開・発展を狙う上で重要である。本研究では、高速原子間力顕微鏡の探針走査技術を用いることによって、従来より100倍以上高速な走査型近接場光学顕微鏡を開発したことを報告する。