[20a-E303-1~5] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20a-E303-1] BaSi₂融液から発生する蒸気組成の理論解析

〇原 康祐¹、山中 淳二¹、有元 圭介¹ (1.山梨大)

キーワード：シリサイド半導体、蒸着

BaSi₂蒸着における蒸気組成の経時変化を理論的に説明することを目指して、BaSi₂融液から発生する蒸気のフラックスを熱力学により理論的に計算した。その結果、BaSi₂が調和溶融した融液から発生する蒸気はBaが支配的であり、融液中のBaモル分率が減少するに従い、Siフラックスが増大することが明らかとなった。