[20a-E303-1~5] 13.2 Exploratory Materials, Physical Properties, Devices

[20a-E303-3] Application of BaSi2 film/Si to thermoelectric power generation

〇Takafumi Ishibe¹, Jinichiro Chikada¹, Suguru Yachi², Yudai Yamashita², Takuma Sato², Takashi Suemasu², Yoshiaki Nakamura¹ (1.Osaka Univ., 2.Univ. of Tsukuba)

Keywords:Thermoelectric material, Silicide, Thin film

近年、IoT社会におけるセンサ用電源として、自立発電可能、小型、Siプラットフォームとの整合性の観点から、Si基板上薄膜熱電材料が注目されている。このBaSi₂薄膜は、複雑結晶構造由来の極小熱伝導率を示すことから、高性能熱電材料としての可能性を秘める。しかし、Si基板上BaSi₂薄膜の熱電性能に関する報告はない。本研究では、Si基板上BaSi₂薄膜の熱電性能を評価し、他材料との比較検討を行い、有望な薄膜熱電材料であることを実証する。