[20a-E303-1~5] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20a-E303-3] 熱電発電応用に向けた Si 基板上 BaSi2 薄膜

〇石部 貴史¹、近田 尋一郎¹、谷内 卓²、山下 雄大²、佐藤 拓磨²、末益 崇²、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.筑波大院)

キーワード：熱電材料、シリサイド、薄膜

近年、IoT社会におけるセンサ用電源として、自立発電可能、小型、Siプラットフォームとの整合性の観点から、Si基板上薄膜熱電材料が注目されている。このBaSi₂薄膜は、複雑結晶構造由来の極小熱伝導率を示すことから、高性能熱電材料としての可能性を秘める。しかし、Si基板上BaSi₂薄膜の熱電性能に関する報告はない。本研究では、Si基板上BaSi₂薄膜の熱電性能を評価し、他材料との比較検討を行い、有望な薄膜熱電材料であることを実証する。