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[20a-E303-4] Mg2Siバルク単結晶を用いた吸収係数評価とPDの外部量子効率
キーワード:マグネシウムシリサイド、シリサイド半導体
マグネシウムシリサイド(Mg2Si)は禁制帯幅が室温で約0.6eVの間接遷移型半導体であることから、カットオフ波長約2µm帯の赤外受光素子として利用が期待されている。今回、ダブルビーム方式の分光光度計を用いた透過測定によりMg2Siの吸収係数を広い波長範囲で評価し、その吸収係数をもとにMg2Siフォトダイオードの外部量子効率を評価した。