[20a-E304-1~10] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[20a-E304-7] TeO₂-MoO₃系無鉛低融点ガラスフリットの開発

〇加納 邦彦¹、山口 貴久¹ (1.日本電気硝子株式会社)

キーワード：粉末ガラス、無鉛、低融点

鉛系低融点ガラスによる封着技術の歴史は古く、高い気密性や耐候性等が重宝され、現在も幅広い用途で使用されている。近年の環境意識の高まりに対応すべく、新たな無鉛低融点ガラスの開発が期待されており、今般、TeO₂-MoO₃系ガラスを用いた封着用フリットを開発した。本開発フリットは、アルミナ基板等に整合した熱膨張係数に調整可能で、かつ380℃という低温での封着を可能にした。