[20a-E305-1~10] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[20a-E305-8] ナノフォーカスX線源を用いたスラリー中のガラス球形状観察

〇樋口 浩太¹、松成 秀一¹、梅本 高明¹ (1.ニコン)

キーワード：X線、スラリー、非破壊検査

レンズ等ガラス製品の一次研磨には水などに研磨粒子を分散させた研磨液が用いられるが、研磨中に数μm～数十μm程のガラス片が研磨液中に混入し、ガラス研磨キズの発生や研磨力の低下を招くことが報告されている。
今回弊社が開発したスポット径0.1μmが達成可能なX線源を用いて、水にガラス球を分散させたサンプルを測定することにより、数μm～数十μm程度のガラス粒子を液中で観察できることを実証した。