[20a-E307-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-E307-1] EUV化学増幅型レジストにおける感度向上へのメタル増感剤の役割

〇山本 洋揮¹、Vesters Yannick^2,3、Jiang Jing²、de Simone Danilo²、Vandenberghe Geert²、古澤 孝弘⁴ (1.量研高崎、2.IMEC、3.KU Leuven、4.阪大産研)

キーワード：EUV、化学増幅型レジスト、メタル増感剤

最近、EUVレジストにメタル増感剤という分子を添加して高感度化を達成する研究が注目されている。しかしながら、メタル増感剤は高解像度かつ高感度を示すことが既に報告されているがその反応機構の詳細は不明である。本研究では、メタル増感剤の添加あるなしでのEUVレジストの酸収率および溶解特性を調べることでメタル増感剤による高感度化機構を明らかにすることを試みた。