[20a-E307-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[20a-E307-5] キャスティング法を用いた微細貫通孔付きポリスチレン自立薄膜の作製

〇川田 博昭¹、清水 進吾¹、安田 雅昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大)

キーワード：自立膜、貫通孔、水溶性ポリマー

インプリント法の一種であるキャステイングプロセスで汎用樹脂であるポリスチレン（PS）に残膜処理のない簡便なプロセスで微細貫通孔付PS自立薄膜を作製した。水溶性ポリマーであるポリビニルアルコール（PVA）パターン上に形成したPS薄膜を孔付き支持枠に貼りつけた後、PVAを温水中で溶解させてPS自立薄膜を得た。これにより、孔サイズ2.5 μmの貫通孔を有する厚さ0.7 μmのPS薄膜を直径5 mmの支持枠孔内に欠陥なしに作製できた。