[20a-E307-1~6] 7.3 Micro/Nano patterning and fabrication

△ [20a-E307-6] Morphology control of atomic- and nano-scale periodic patterns transcribed on polymer sheet by thermal annealing and excimer light irradiation

〇(B)Naho Kaneko¹, Tomoaki Oga¹, Atsushi Oshima¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.KISTEC)

Keywords:atomic and nano scale pattern, thermal nanoimprint, excimer light

ポリマー材料の大面積、軽量、フレキシビリティといった特徴は従来の薄膜堆積基板にはないデバイス応用をもたらす。薄膜の面内秩序構造形成のためには、面内でのより微細かつ高密度な周期的パターニングが重要となるが、研究例は未だ少ない。従って、本研究ではポリマー上での面内周期パターンの微細化を目的として、ポリマーシート上へのパターン転写と熱・光によるパターン形状制御について検討した。