[20a-E311-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20a-E311-1] SiO₂/Al₂O₃絶縁膜を有する3C-SiC n-MOSキャパシタとn-MOSFET動作

〇山本 圭介¹、岡 龍誠¹、王 冬¹、中島 寛²、菱木 繁臣³、川村 啓介^2,3 (1.九大総理工、2.九大GIC、3.エア・ウォーター)

キーワード：3C-SiC、MOS capacitor、MOSFET