[20a-E312-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [20a-E312-6] 低温におけるダイヤモンドショットキーpnダイオードの電気特性

〇(M1C)唐澤 歩睦¹、牧野 俊晴^1,2、加藤 宙光²、小倉 政彦²、加藤 有香子²、竹内 大輔²、山崎 聡^1,2、櫻井 岳暁¹ (1.筑波大、2.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、パワーデバイス