[20a-E314-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-E314-1] 種結晶を用いたシリコン結晶成長における転位密度の数値解析

〇中野 智¹、劉 鑫¹、韓 学峰¹、柿本 浩一¹ (1.九大応力研)

キーワード：転位、種結晶成長法、酸素

太陽電池用シリコン単結晶にとって、変換効率を低下させる転位は大きな問題である。太陽電池用シリコン結晶成長において、種結晶を用いた疑似単結晶成長法は、コストが低く高品質なため、現在多用されている方法である。シリコン結晶中の酸素が増加すると、転位の運動速度が減少し、転位の増殖が抑制されることが報告されている。本研究では、疑似単結晶成長法に用いる種結晶の酸素濃度と転位密度との関係について解析を行った。