2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-E314-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

2019年9月20日(金) 09:15 〜 11:30 E314 (E314)

新船 幸二(兵庫県立大)

09:45 〜 10:00

[20a-E314-3] サブピクセルシフトによるPLイメージングの空間分解能の向上

竹内 公一1、〇沓掛 健太朗2、小島 拓人3、工藤 博章3、松本 哲也3、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大院情報)

キーワード:イメージング、フォトルミネッセンス、超解像

PLイメージングは、多結晶Si太陽電池において問題となる転位クラスターを検出する方法として多く用いられている。しかし、ウェーハ全体を撮影する場合はカメラの画素数による空間分解能の限界があり、またカメラを近づけて分解能を上げる場合も、装置構造による制限やピクセル当たりのPLの低下によるS/N比悪化の問題がある。本研究では、ウェーハ位置をサブピクセルシフトさせて撮影し、画像処理を行うことで、カメラを近づけることなくPL画像の高空間分解能化することを試みた。