[20a-E314-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

[20a-E314-3] サブピクセルシフトによるPLイメージングの空間分解能の向上

竹内 公一¹、〇沓掛 健太朗²、小島 拓人³、工藤 博章³、松本 哲也³、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大院情報)

キーワード：イメージング、フォトルミネッセンス、超解像

PLイメージングは、多結晶Si太陽電池において問題となる転位クラスターを検出する方法として多く用いられている。しかし、ウェーハ全体を撮影する場合はカメラの画素数による空間分解能の限界があり、またカメラを近づけて分解能を上げる場合も、装置構造による制限やピクセル当たりのPLの低下によるS/N比悪化の問題がある。本研究では、ウェーハ位置をサブピクセルシフトさせて撮影し、画像処理を行うことで、カメラを近づけることなくPL画像の高空間分解能化することを試みた。