[20a-E319-1~7] 6.5 表面物理・真空

△ [20a-E319-6] ナノビームW-RHEEDによるマイクロパターンを施したSi(110)基板の表面構造解析

〇中塚 聡平¹、今泉 太志¹、虻川 匡司¹、服部 梓²、田中 秀和²、Irmikimov Aydar³、服部 賢³ (1.東北大多元研、2.阪大産研、3.奈良先端大)

キーワード：電子回折、マイクロ構造、Si

マイクロ・ナノ構造の表面構造解析を行うため我々が開発したSEMとW-RHEEDを組み合わせた手法を用い、マイクロパターンを施した二種類のSi(110)基板表面の構造解析を行った。その結果マイクロロッド上面および底面（110）面上に存在する二種類の等価なドメインの比率が一方のドメインに偏っていることや、マイクロロッド隅部分に微小斜面が形成されていることなど特徴的なマイクロ構造の変化が確認された。