[20a-PA2-1~11] 3.5 レーザー装置・材料

[20a-PA2-10] 光学パラメトリック増幅による狭帯域1553nmレーザ

〇曲 晨¹、田中 洋平¹、三浦 泰祐¹、藤本 准一¹、溝口 計¹ (1.ギガフォトン（株）)

キーワード：深紫外固体レーザ、露光、光パラメトリック増幅

半導体露光用193nmのArFエキシマレーザには、狭帯域と波長可変性の両方が求められる。固体レーザをシード光としたハイブリッドArFレーザは、従来のArFレーザより優れる性能を有するため、ファイバレーザベースの深紫外固体レーザの開発を行っている。現在開発中の固体オシレータは、1030nm光の高次高調波と1553nm光の和周波混合により193nm光を発生する構造となる。高出力化1553nm光を実現するため、本研究では1030nm光を励起とする光パラメトリック増幅器を開発し、報告する。