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[20a-PA2-10] 光学パラメトリック増幅による狭帯域1553nmレーザ
キーワード:深紫外固体レーザ、露光、光パラメトリック増幅
半導体露光用193nmのArFエキシマレーザには、狭帯域と波長可変性の両方が求められる。固体レーザをシード光としたハイブリッドArFレーザは、従来のArFレーザより優れる性能を有するため、ファイバレーザベースの深紫外固体レーザの開発を行っている。現在開発中の固体オシレータは、1030nm光の高次高調波と1553nm光の和周波混合により193nm光を発生する構造となる。高出力化1553nm光を実現するため、本研究では1030nm光を励起とする光パラメトリック増幅器を開発し、報告する。