[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-10] 電子ビーム励起プラズマを用いた光触媒の窒素プラズマ処理

〇(M2)冨井 颯人¹、武村 祐一朗¹ (1.近大院総理工)

キーワード：プラズマ

光触媒の代表である酸化チタンは防汚、脱臭、抗菌等の様々な効果を持ち、各種用途で利用されている。しかし、紫外光でのみ反応するため、屋内で使用するには可視光応答化が必要不可欠となっている。現在、注目されているのが酸化チタンに窒素ドープを行うことであり、バンド内に不純物準位を作ることで可視光域での反応が可能とされる。本研究では電子ビーム励起プラズマ装置を用いて、酸化チタンに窒素プラズマ処理を行った。