[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-11] プラズマ曝露した銀ナノ粒子による２成分系有機化合物蒸気の検知

〇(D)細見 圭¹、尾崎 孝一¹、高廣 克己¹、西山 文隆²、横山 新² (1.京工繊大、2.広大)

キーワード：プラズモニクス、アルゴンプラズマ、銀ナノ粒子

銀ナノ粒子は可視光域に強い表面プラズモン共鳴を示すことからプラズモニックデバイスの有力な候補の一つである. 本講演ではアルゴンプラズマ処理による銀ナノ粒子の光学応答ガス検知センサの高感度化について報告する. また, 今回作製したセンサを用いた２成分系有機化合物蒸気の検知について議論する.