[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-12] メタホウ酸ナトリウムの水素化におけるマイクロ波励起水素-アンモニア混合ガスプラズマの影響

〇前田 尚希¹、荻野 明久¹ (1.静大院工)

キーワード：マイクロ波プラズマ、メタホウ酸ナトリウム、水素化

水素を低コストで効率よく輸送、貯蔵する水素キャリアとして水素化ホウ素ナトリウム(NaBH₄)が注目されている。本研究はNaBH₄による水素生成過程において生ずるメタホウ酸ナトリウム（NaBO₂)をプラズマ処理し、NaBH₄に再生することを目的とする。NaBO₂に水素-アンモニア（H₂-NH₃）混合ガスプラズマをNaBO₂に照射したときの原子組成や化学結合状態への影響について報告する。