[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-13] レーザー光脱離法を用いた炭素電極間放電プラズマ中の負イオン信号計測

〇池田 唯人¹、坪内 信輝²、和田 元¹ (1.同大理工、2.産総研　関西センター)

キーワード：プラズマ成膜、負イオン、レーザー光脱離法

プラズマを用いた炭素薄膜生成において，プラズマ中の炭素負イオンは生成薄膜の物性に影響を与えると考えられる．本研究では，アルゴンガス中の炭素電極間放電により炭素含有プラズマを生成し，プラズマ中の負イオン密度を半導体レーザーによる光脱離反応を用いて測定している．形成された炭素薄膜については走査電子顕微鏡（SEM）およびX線回折（XRD）によって調査する．