[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-2] 大気圧マイクロプラズマジェットによるDLC薄膜の局所合成

〇(B)西村 涼汰¹、吉木 宏之¹ (1.鶴岡高専)

キーワード：大気圧マイクロプラズマ、ダイヤモンド状炭素膜、プラズマCVD

本研究課題では、高硬度、高耐摩耗性、潤滑性を有するダイヤモンド状炭素 (DLC) 薄膜の大気圧プラズマ合成を行う。特に、MEMSの摺動部への局所コーティングに目標を定めて、He/ CH₄/ H₂ ガス組成、プラズマ投入電力、成膜温度をパラメータとして作製したところ、薄膜硬度、FT-IR、ラマン分光分析の結果から、約10-20%の炭化水素のsp³結合を含む膜硬度16 GPa程度のDLC膜が得られた。