[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-3] スパッタリング法を用いたHAp 結晶の配向制御

〇(M1)小田 智也¹、中村 司¹、高柳 真司¹、松川 真美¹ (1.同志社大)

キーワード：スパッタリング、ハイドロキシアパタイト