[20a-PA4-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[20a-PA4-9] 大気開放型プラズマジェットを利用したAu-ZnOコンポジット薄膜の作製とその光触媒特性（Ⅱ）

〇清水 禎樹¹、畠山 一翔¹、石川 善恵¹ (1.産総研ナノ材料)

キーワード：プラズマ、金ナノ粒子、ナノコンポジット薄膜

大気開放型プラズマジェットで作製する金ナノ粒子/酸化亜鉛コンポジット薄膜の光触媒特性評価において、プラズマ照射で受ける薄膜の損傷が、光触媒特性の増加率低下を招く問題点が明らかになった。このような損傷の抑制に向けた最初の検討として、本研究ではイオン衝突による損傷低減を目指し、薄膜への正バイアス電圧印加効果を検討した。