[20a-PB1-1~15] 9.4 熱電変換

[20a-PB1-1] p型薄膜熱電材料の評価と応用

〇村川 星斗¹、上沼 睦典¹、Jenichi Felizco¹、石河 泰明¹、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大)

キーワード：熱電、薄膜、pn接合

薄膜型TEGの出力電力密度を上げるためには、p型とn型の両方の材料を用いた構造が有効である。しかし、n型に比べてp型無機熱電薄膜材料の研究は少ない。特に酸化物材料では、安定したp型薄膜が必要である。本研究では、p型酸化物材料としてCuO_x薄膜を検討し、熱電特性を評価した。また、pn接合を作製し熱起電力に対する影響について評価した。