2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-B11-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

2019年9月20日(金) 13:15 〜 17:15 B11 (B11)

西山 修輔(北大)、平松 美根男(名城大)

14:45 〜 15:00

[20p-B11-4] 2つのカーリングプローブを使った電子密度と薄膜の同時計測の材料プロセスへの実現性

小川 大輔1、中村 圭二1、菅井 秀郎1 (1.中部大学)

キーワード:プラズマ計測、膜厚計測、In-situ measurement