[20p-B11-1~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-B11-9] キャビティ内のマイクロ波放電によるプラズマ生成シミュレーション

〇トン リチュ¹ (1.計測エンジニアリング)

キーワード：マイクロ波プラズマ、キャビティ、シミュレーション

マイクロ波加熱型プラズマジェットは，キャビティを用いたマイクロ波放電により生成されるプラズマのエネルギーを推進エネルギーに変換するロケットである。キャビティでのマイクロ波プラズマは材料プロセスにも応用されている。本研究では，キャビティ内のマイクロ波プラズマシミュレーションを行った。マイクロ波はプラズマにより反射され，プラズマへの浸透ゾーンを形成した。プラズマ領域での電界強度が減少する現象を検討した。