[20p-C207-1~16] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[20p-C207-3] Seed層を用いたBMO添加REBCO膜におけるBMOナノロッド成長のシミュレーション

〇一野 祐亮¹、土屋 雄司¹、吉田 隆¹ (1.名大院工)

キーワード：薄膜、結晶成長、シミュレーション

我々はこれまで、低温成膜法やREGREB法を開発してきた。これらの手法では、高品質なREBCO膜をseed層にし、その上に低温、あるいは高速でREBCO薄膜を作製することでBMOの自己組織化を制御できる。本研究では、上記のような成膜法において、seed層やupper層の成膜条件がBMOの自己組織化に与える影響について薄膜成長シミュレーションを用いて検討した。