[20p-C212-1~7] 酸化物中の水素とその役割

[20p-C212-3] 酸化物半導体ガスセンサの研究開発の現状：高感度水素検出に向けて

〇北村 雅季¹ (1.神戸大工)

キーワード：水素ガスセンサ、InGaZnO、ガスセンサ

本発表では，基板型半導体式の水素ガスセンサについて最近の研究について紹介する。簡単に，現在実現されている，水素ガスセンサについて紹介した後，ナノ構造を利用した水素ガスセンサについて述べる。また，ディスプレイ応用が始まったInGaZnOを使ったセンサについて最近の研究報告について紹介する。されらを基に，高感度水素検出に向けて課題と可能性について考察する。