[20p-C310-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [20p-C310-10] 異なるガス種で成膜した高安定銀薄膜の特性比較

〇濱野 剛志¹、工藤 映太¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹、金 敬鎬¹、室谷 裕志² (1.北見工大、2.東海大)

キーワード：銀薄膜、スパッタガス、電気抵抗率

スパッタリング法においてターゲット原子とガス原子の質量数が近い方が良質な膜ができることが知られている。そこで本研究ではArとKrガスを用いて膜厚150 nmのAg膜及びAl表面層1, 3 nmを積層したAl/Ag膜を作製し、特性の比較を行った。ArとKrガスで作製した各膜を比較すると、Krガスの膜の方がより低い電気抵抗率と大きい結晶子径を示した。またガス種を問わずAg膜及びAl 1 nm積層Ag膜の波長500 nmでの反射スペクトルが約97 %を示した。