[20p-C310-1~16] 6.4 薄膜新材料

[20p-C310-13] EDTA金属錯体溶液を出発原料とした強熱プロセスによる銅コーティング

〇工藤 拓也¹、中村 淳^2,1、小松 啓志¹、齋藤 秀俊¹ (1.長岡技術科学大学、2.中部キレスト株式会社)

キーワード：EDTA金属錯体溶液、強熱プロセス、銅コーティング