[20p-E202-1~17] 12.1 作製・構造制御

△ [20p-E202-3] PTCDI-C8薄膜のグレインサイズに及ぼす下地層粗さの影響

〇田中 周平¹、高川 佑輔¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：有機半導体、薄膜、液晶

有機半導体薄膜の電子デバイスへの応用において，結晶粒界はキャリアの移動度を低下させる要因のひとつであることから，グレインサイズを大きくすることは有効な戦略である．当研究室ではペリレン誘導体であるPTCDI-C8を熱酸化SiO₂/Si基板上に真空蒸着した薄膜において，比較的高い成膜温度で数百µmまで比較的平坦なグレインが成長する現象を見出した．そこで本研究では，このPTCDI-C8を巨大グレインに成長させるための下地層に求められる条件を調査した．